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洁净室的静电控制方法有哪些?

2018-12-13 09:44:19 

净化车间的静电地板控制方法有哪些???
尽量减小静电(是一种处于静止状态的电荷的产生 这是控制静电三部曲的第一步,在这净化工作环境中,最好的措施:
1、尽量采用性质相似器材,减少摩擦过程中产生的静电电荷;

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2、尽量采用导静电(是一种处于静止状态的电荷)型或静电耗材型材料的器材,减少接触摩擦分离过程中产生积累静电荷;

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3、尽量采用减少接触摩擦分离而产生静电荷的生产流程。
泄放和中和 这是控制静电三部曲的第二步,在微电子生产的净化室中最通常的措施(指针对问题的解决办法)是接地,采用导电性或耗散性材料泄放静电荷,以及离子化消电器和静电荷。

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